摘要：電子氣體主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)產(chǎn)品、材料等在制備過程中的蝕刻、成膜、摻雜和外延等工藝，是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的基礎(chǔ)性支撐材料。目前，全球?qū)用嫔想娮託怏w市場寡頭格局明顯，國內(nèi)市場也大部分依賴進口，我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)想要在發(fā)達國家壟斷的格局下謀求發(fā)展，電子氣體行業(yè)的發(fā)展也是重要的一環(huán)，電子氣體國產(chǎn)化呼聲日益增高。

近年來，我國半導(dǎo)體行業(yè)以及集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展快速，對電子氣體需求也進一步提升，電子氣體發(fā)展規(guī)模逐年上漲，雖然國內(nèi)電子氣體市場被國外企業(yè)占據(jù)了85%，但隨著國內(nèi)企業(yè)在電子氣體生產(chǎn)領(lǐng)域的突破，國產(chǎn)化替代趨勢日漸明朗。

電子氣體應(yīng)用情況

電子氣體的種類繁多，有近百種電子氣體應(yīng)用在半導(dǎo)體制造中，主要的也多達30余種，是集成電路等半導(dǎo)體工業(yè)制造所需的必須材料，主要涉及的領(lǐng)域有集成電路、顯示、半導(dǎo)體照明、太陽能電池等，在應(yīng)用的工藝方面主要可以分為外延用氣體、蝕刻氣體、摻雜氣體、離子注入氣體等。

表1 電子氣體應(yīng)用情況

(資料來源：公開信息整理)

電子氣體行業(yè)規(guī)模有望繼續(xù)增長

由于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品對其性能及參數(shù)極其重視，需要對制備工藝進行嚴格的控制，對原材料、制造環(huán)境等等均有極高的要求，隨著芯片等產(chǎn)品精密化程度進一步提高，對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)制備的要求也越來越高，因此對電子氣體的要求，主要是在高純度方面的要求也同步提升，總體來看，電子氣體市場前景保持穩(wěn)定樂觀，未來有望受益于中國半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展持續(xù)增長。

全球范圍來看，2016年集成電路用電子氣體的市場規(guī)模為35億美元，2018年集成電路用電子氣體的市場規(guī)模超過40億美元，年平均增速達到7%左右。

國內(nèi)范圍來看，2018年，我國電子氣體市場規(guī)模達到了132.8億元，較2017年的112.4億元增長了18.1%，增速較2017年同期增長近8.8個百分點，多年保持較高水平的增長。

圖1 國內(nèi)電子氣體市場規(guī)模

(資料來源：公開信息整理)

電子氣體市場呈寡頭壟斷的格局

從電子氣體市場格局來看，國際上歐美及日本的幾家巨頭占據(jù)了94%的市場，其中美國氣體化工和法國液化空氣更是占據(jù)了20%以上的全球市場份額，行業(yè)整體高度集中，呈現(xiàn)出寡頭壟斷的格局。

圖2 全球電子氣體市場競爭格局

(資料來源：公開信息整理)

國內(nèi)市場格局和全球相仿，隨著我國相關(guān)電子產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，對電子氣體的需求不斷提升，大型國際氣體公司在國內(nèi)建設(shè)生產(chǎn)基地，占據(jù)了我國電子氣體85%的市場份額。

圖3 國內(nèi)電子氣體市場競爭格局

(資料來源：公開信息整理)

國內(nèi)電子氣體企業(yè)逐步放量，推進國產(chǎn)化替代進程

近幾年，國內(nèi)電子氣體產(chǎn)業(yè)已經(jīng)起步并開始步入快速成長期，出現(xiàn)了江蘇南大光電材料股份有限公司、佛山市華特氣體有限公司、蘇州金宏氣體股份有限公司等一批電子氣體生產(chǎn)企業(yè)，在高純六氟化鎢、三氟化氮、氨氣等領(lǐng)域已經(jīng)取得了突破。

但是，由于國內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)和供應(yīng)商規(guī)模較小、質(zhì)量穩(wěn)定性問題和產(chǎn)品的包裝、儲運等原因，國內(nèi)電子氣體的生產(chǎn)商還不能全面進入集成電路等領(lǐng)域。要真正實現(xiàn)電子氣體的大規(guī)模本土化，擺脫對進口材料的依賴，依然任重道遠。

表2 國內(nèi)主要電子氣體企業(yè)及主要產(chǎn)品

(資料來源：公開信息整理)

總結(jié)

我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)要實現(xiàn)從跟蹤走向引領(lǐng)的跨越，電子氣體的突破將是重要一環(huán)。需要國家落實和完善對該類企業(yè)的財稅、資金等優(yōu)惠政策，加大財政資金、大基金和金融部門的扶持力度，引導(dǎo)集成電路廠家使用國產(chǎn)電子氣體，從而幫助企業(yè)把握發(fā)展機遇，加快企業(yè)技術(shù)進步和做大做強。